Electro-optical characterization of IC compatible microcantilevers

نویسندگان
چکیده

برای دانلود رایگان متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

study and characterization of fiber optical gyroscope مطالعه و مشخصه یابی ژیروسکوپ فیبر نوری(تار نوری)

ژیروسکوپ فیبر نوری fog بر اساس پدیده تداخل ساگنام دو پرتو لیزری از یک فیبر نوری بسیار طولانی داده های لازم را فراهم می آورد

15 صفحه اول

A Complete Methodology for Electro-Mechanical Characterization of a CMOS Compatible MEMS Technology

In this paper we present a complete methodology for efficient electro-mechanical characterization of a CMOS compatible MEMS technology. Using an original test structure, the so-called “U-shape cantilever beam,” we are able to determine all mechanical characteristics of force sensors constituted with elementary beams in a given technology. A complete set of electro-mechanical relations for the d...

متن کامل

Novel electro-optical coupling technique for magnetic resonance-compatible positron emission tomography detectors.

A new magnetic resonance imaging (MRI)-compatible positron emission tomography (PET) detector design is being developed that uses electro-optical coupling to bring the amplitude and arrival time information of high-speed PET detector scintillation pulses out of an MRI system. The electro-optical coupling technology consists of a magnetically insensitive photodetector output signal connected to ...

متن کامل

Ion implantation of graphene-toward IC compatible technologies.

Doping of graphene via low energy ion implantation could open possibilities for fabrication of nanometer-scale patterned graphene-based devices as well as for graphene functionalization compatible with large-scale integrated semiconductor technology. Using advanced electron microscopy/spectroscopy methods, we show for the first time directly that graphene can be doped with B and N via ion impla...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Microsystem Technologies

سال: 2015

ISSN: 0946-7076,1432-1858

DOI: 10.1007/s00542-015-2629-x